靶材為什要測量密度?秒準(zhǔn)靶材密度計的優(yōu)勢在哪里?
靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
靶材在生產(chǎn)制造的過程中需要對其密度進(jìn)行測試,采用的方法是阿基米德原理,儀器自動計算出靶材密度g/cm3。目前生產(chǎn)的測試采用人工對靶材進(jìn)行測量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進(jìn)行操作。因此解決這一問題就顯得十分必要。
如何測量靶材的密度?
陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應(yīng)用于各種靶材材料。按材質(zhì)分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應(yīng)用領(lǐng)域分類靶材可分為半導(dǎo)體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理:根據(jù)ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738??蛇m用于采用阿基米德原理浮力法,準(zhǔn)確直讀量測數(shù)值。
秒準(zhǔn)靶材密度計經(jīng)過市場10幾年的驗證以及不斷的研發(fā)升級,現(xiàn)已具備以下特點:
1、數(shù)顯直讀,無需人工計算,直接顯示密度和體積等參數(shù)。
2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報告。
3、采用梅特勒原裝進(jìn)口傳感器,測量精準(zhǔn)、操作簡便、穩(wěn)定耐用。
4、具有實際水溫補償功能,可適應(yīng)測試環(huán)境變化。
5、可設(shè)定媒介液密度,使用水作介質(zhì),也可使用其它液體介質(zhì)。
6、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,底部設(shè)計靜音萬向輪,便于移動。
7、含USB通信接口,方便與電腦連接。
8、內(nèi)置靜音排水系統(tǒng),方便換水。
功能描述:
1、直接讀取靶材工件的密度和體積。
特別備注:秒準(zhǔn)靶材密度計支持非標(biāo)定制,已經(jīng)為多家用戶實現(xiàn)自動化密度測試儀非標(biāo)定制,搭配機械手/吊機,自動完成密度測試,自動輸出數(shù)據(jù)。
技術(shù)參數(shù):
品牌
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MAYZUM(保修期:三年)
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型號
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MAY-AE10
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MAY-AE30
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MAY-AE50
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MAY-AE80
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最大稱重
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0.1g-10kg
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0.1g-30kg
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0.5g-50kg
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2g-80kg
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密度精度
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0.001 g/cm3
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密度范圍
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0.001~99.999g/cm3
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水槽尺寸
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水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長寬高),依據(jù)客戶工件尺寸定制最終尺寸
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測量時間
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約5秒
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測量步驟
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放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數(shù)據(jù)報告。
多孔材料、粉末測試步驟依據(jù)國標(biāo)請參考隨機說明書
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結(jié)果顯示
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密度,體積,比重值
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參數(shù)設(shè)定
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水溫設(shè)定、媒介液體密度設(shè)定
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校正方式
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一鍵自動校正
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輸出方式
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RS-232C標(biāo)準(zhǔn)通信接口、方便測試數(shù)據(jù)輸出與打印
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溫濕度范圍
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允許環(huán)境溫度:0~45℃;允許相對濕度:80%以內(nèi)
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電 源
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AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可)
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操作面板
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7寸觸摸屏
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標(biāo)準(zhǔn)配件
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①主機一臺、②測量組件一套、③電源變壓器一個、④打印紙1卷
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